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フォトンリサーチ株式会社 | 自 社 製 品 案 内 |
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| PHO-LNシリーズ 線条形ビームホモジナイザー | |||
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左図：PHO−LN 線条形ビーム分布 ← KrF線条形ホモジナイザｰ強度分布 ビｰムサイズ125mmx5mm |
| PHO-LNシリーズ線条形ビームホモジナイザーは、 当社独自に開発したシリンドリカルレンズ光学 系で高度な台形（ Flat-Top ）ビーム均一性が 得られると同時に、エッジ急峻性 50μm以下、 長さ 500mmのビームを達成しています。従来の 正方形ビームのXーY方向移動照射の代わりに、 Ｙ方向だけのスキャンにより、大面積試料への 均一な照射を実現できます。 半導体Deviceのレーザーでの光プロセス、液晶 パネル製造上のポリシリコンTFTｱﾆｰﾙ と配向膜 の光ラビング等応用に欠かせない光学装置です |
| 特 徴 |
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| ● MAX＝500mm長さのビームで大面積試料、テープ状試料の照射に最適 ● 幅方向のみでのスキャンで、精度の向上と移動制御系の簡素化可能 ● 繁雑な調整が不要でオンラインでのシステム組込が容易になります ● 元の入射ビーム分布に左右されず高度なビーム均一性が得られます ● ズームレンズ式簡単な手順で均一化されたビームサイズを変えます ● 50μm 以下エッジで幅方向スキャン際にビーム重ね合せ精度の向上 |
| 詳細仕様 |
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| モデル名 | 線条形ビームホモジナイザー ＰＨＯ−ＬＮシリーズ | |
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| 1.入射ビーム | ||
| レーザー | エキシマ、YAGレーザーとその高調波、CO2 | |
| 波 長 | 紫外157nmから、可視、ＩＲ | |
| 光強閾値 | 平均パワー400W以内、10ns/2J/Pulse（248nm以下短波長の場合は要問合せ） | |
| 耐 久 性 | パルス100Mショット以上（248nm以下短波長の場合は要問合せ） | |
| 2.ビーム特性 | ||
| 均 一 性 | バラツキ ＜ ±5%（RMSは5%以下） | |
| 長軸サイズ | 標準タイプ 125mm、250mm、500mm（その他サイズも指定可） | |
| 短軸サイズ | 標準タイプ 1mm、 5mm、 10mm（MIN＝0.2mmまで指定可） | |
| 長軸エッジ | 標準タイプ 片側エッジ（FWHM)＜10%（MIN＝50μmまで指定可） | |
| 光発散角 | コンデンサーレンズ後のビーム拡がり角 ＜15° | |
| 効 率 | 標準タイプ 85%以上、縁急峻タイプ 60% | |
| 3.オプション | ||
| サイズ可変 | 短軸方向のみ、可変倍率、規格品1.5倍、3倍、5倍（その他特注可） | |
| CCD観察系 | オンラインで照射面観察用高解像度高倍率CCD光学系 | |
| ビーム成形 | 入射レーザーとホモジナイザーのビームサイズ合せ光学系 | |
| デ リバ リ | デリバリ光学系、光学システム収納ボックス等カスタマイズ | |
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| 最終更新日 H21年08月13日 |
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